為滿足行業對技術要求和相關規范不斷發展的需要,
真空燒結爐工藝在精確度及效率上有了很大成長空間。真空燒結爐是一種新型工藝設備,主要用于半導體元件和功率整流器件的燒結工藝,它可以進行真空燒結、氣體保護燒結和常規燒結。但是,在日常使用時,它的應急措施我們一定的了解!
加熱電源掉電
1、水壓低,當水壓低于0.15MPa,壓力表報警。
2、接地故障。
3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。
4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源出現故障,掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。
充氣氣體(氬氣或氮氣)停止
1、抽真空開始前,氣體充入時間長或者無法充入時,請確認氣體管路是否被堵塞。
2、如氣體管路沒問題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作,為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。
3、向真空室內充氣不能停止的情況下,泄壓閥動作如泄壓閥動作時,要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。
4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會影響制品質量。
真空室壓力惡化
1、真空排氣時間比通常長時,應把設備停下來進行檢查,根據真空室內構造物不同狀態下放氣的影響,也有導致壓力升高的情況。
2、通過壓力上升測試或者用氦氣檢漏來確認是漏氣還有放氣的影響。