小型真空爐在航空航天、兵器、電子、汽車、機械等領域得到了廣泛的應用，是目前熱處理行業中的主流設備。該設備利用真空系統使爐腔內的壓力低于標準大氣壓，使爐膛內的空間達到真空狀態，然后在真空狀態下進行加熱。處理后的產品不僅質量可靠，而且環保無污染、不需進行三廢處理。
理論上，金屬材料都可在真空爐內進行熱處理。但是，由于工藝要求、工藝成本和工藝難度等原因，有些材料不適宜采用真空爐進行熱處理。
1、高溫易形成有害物質，對N元素敏感。
為了防止合金元素在高溫下揮發，通常采用高純度的氮氣來保持其分壓，而在冷卻過程中通常采用氮氣進行冷卻。因此，這種材料不宜采用真空爐進行處理。
2、碳鋼.
從成本角度考慮，碳鋼價格低，成品零件價格低，用真空爐處理實在是浪費，除非利潤較高的工件或工件已無加工余量，對表面質量要求較高的情況下才是權宜之計。
3、某些材料（工件）采用特殊工藝。
比如某些工件為了獲得最佳的力學性能，需要得到貝氏體，通常采用等溫淬火工藝，而真空熱處理爐難以實現；再如T10鋼，硬度高，變形低，一般采用水淬油冷工藝，雖然采用高壓氣淬獲得了較高的硬度，但在Ms點以下，由于溫度過快，變形較大。
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